特殊氣體存儲柜(又稱特氣柜)是電子特氣管道系統(tǒng)的核心安全存儲設(shè)備,專為半導(dǎo)體、光伏等行業(yè)的腐蝕性、毒性、易燃易爆等高危特種氣體設(shè)計。
基本特性:
1.柜體:采用≥2.5mm冷軋鋼板,數(shù)控折彎成型,經(jīng)酸洗磷化處理,表面靜電粉末噴涂,白桔紋,達到防酸堿及防銹之效果。柜體內(nèi)壁設(shè)置作業(yè)用氣體面板。
2.門板:外形平板式門板,采用≥2.5mm冷軋鋼板,門鎖采用進口索斯科拉動開啟式閘板鎖(64-40-411-50);門密封條選用優(yōu)質(zhì)U型密封條,10x21(泡高8mm),密封條內(nèi)置鋼結(jié)構(gòu),密封條符合GB/T23661-2009并通過相關(guān)機構(gòu)檢測通過。
3.防爆視窗:設(shè)有開啟式防爆視窗,視窗尺寸246*345mm,視窗鎖采用經(jīng)典黑色自帶拉手按壓式門鎖;視窗玻璃采用≥6.5mm厚的進口AGC防爆玻璃;視窗采用可脫卸式鋅合金鉸鏈,配備靜電跨接,安全鏈接門體與柜體,起到保護作用。
4.自閉門系統(tǒng):柜體配備自閉門系統(tǒng),選用德國多瑪TS68防火型閉門器,可實現(xiàn)柜門90°限位,便于操作,閉門器符合GA93-2004標準,通過國家固定滅火系統(tǒng)和耐火構(gòu)件質(zhì)量監(jiān)督檢驗中心檢測合格,設(shè)計使用壽命≥30萬次,使用時運轉(zhuǎn)平穩(wěn)、靈活,輕觸柜門可實現(xiàn)自動關(guān)閉。
5.氣瓶支架:配備2個尺寸為245*245mm的鋁合金材質(zhì)氣瓶支架,模具成型,表面環(huán)氧樹脂噴涂,配有C型導(dǎo)軌,可上下自由調(diào)節(jié)高度,配備快接式不銹鋼鏈條固定,長度22節(jié),兩頭配彈簧扣,有效防止氣瓶傾倒。
6.進氣過濾網(wǎng):門底部裝有透氣過濾網(wǎng)(金屬網(wǎng)格夾過濾棉),尺寸328*190mm,可手動調(diào)節(jié),易于拆解清理及更換濾棉。
7.安裝孔:柜體底部預(yù)留安裝孔4個,便于特殊環(huán)境下與地面進行固定連接,確保柜體安全;
8.斜坡:配備304不銹鋼斜坡,便于鋼瓶搬入。
9.標識:設(shè)置有清晰明確的安全標識牌
10.其他:頂部可預(yù)留水噴淋安裝接口、風(fēng)閥通風(fēng)口等,可根據(jù)實際需求定制。
特殊氣體存儲柜的作用:
安全防護作用:
專為半導(dǎo)體、LED等行業(yè)的腐蝕性、毒性、易燃易爆高危氣體設(shè)計,通過負壓腔體、自動吹掃、泄漏實時監(jiān)測等功能,避免危險氣體外泄,從源頭防范中毒、燃爆等安全事故。
供氣保障作用:
集成氣瓶自動切換、壓力調(diào)節(jié)、流量控制模塊,可實現(xiàn)特種氣體連續(xù)、穩(wěn)定、精準供給,保障生產(chǎn)工藝的用氣一致性,適配精度制造場景需求。